Das Messprinzip

  • Abscannen des Prüflings mit einem monochromatischen Strahl
  • Detektion der Strahlschwerpunkte in unterschiedlichen Entfernungen (Z1,Z2) hinter dem Prüfling mit einem CMOS-Sensor
  • Konstruktion eines Gradientenfeldes aus den Steigungswerten der Messstrahlen
  • Berechnung der Wellenfront
  • Ableitung der gewünschten Messgrößen aus der Wellenfrontanalyse